[发明专利]蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备有效
| 申请号： | 201610326878.3 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN107365960B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李浩永;金甲锡;金薰 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备，涉及显示技术领域，用于提高蒸镀到基板上的蒸镀膜层的厚度均匀性。该蒸发源检测系统包括：设置于蒸发源的喷嘴上方的质量传感器，所述质量传感器用于在进行蒸镀前检测由该质量传感器所对应的喷嘴喷出并附着在该质量传感器上的蒸镀材料的质量；与所述质量传感器连接的喷嘴堵塞程度分析单元，所述喷嘴堵塞程度分析单元根据检测得到的蒸镀材料的质量，分析该质量传感器所对应的堵塞程度。上述蒸镀设备用于将蒸镀材料蒸镀到基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 检测 系统 以及 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源检测系统，其特征在于，所述蒸发源检测系统包括：设置于蒸发源的喷嘴上方的质量传感器，一个喷嘴对应至少一个所述质量传感器，所述质量传感器用于在进行蒸镀前检测由该质量传感器所对应的喷嘴喷出并附着在该质量传感器上的蒸镀材料的质量；与所述质量传感器连接的喷嘴堵塞程度分析单元，所述喷嘴堵塞程度分析单元根据所述质量传感器所检测得到的蒸镀材料的质量，分析该质量传感器所对应的喷嘴的堵塞程度；所述蒸发源检测系统还包括：与所述蒸发源安装在同一真空腔室内的残余气体分析仪，所述残余气体分析仪用于检测蒸镀过程中所述真空腔室内的气体组分，并根据所述真空腔室内的气体组分判断从所述蒸发源内挥发出的蒸镀材料是否变性。
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