[发明专利]指纹采集器件及其制作方法、指纹采集面板及显示面板

摘要

本发明的实施例提供一种指纹采集器件及其制作方法、指纹采集面板及显示面板，涉及显示技术领域，可在制作指纹采集器件时保证TFT的开关特性。该指纹采集器件包括设置在衬底基板上的TFT，以及与所述TFT的漏极相连的光敏二极管，所述TFT包括栅极、有源层、源极和所述漏极，进一步的，该指纹采集器件还包括：与所述源极和所述漏极之间的间隙相对设置的金属图案，所述金属图案设置在所述有源层远离所述衬底基板的一侧。该阵列基板可应用于指纹采集过程中。

主权项

1.一种指纹采集器件，包括设置在衬底基板上的薄膜晶体管TFT，以及与所述TFT的漏极相连的光敏二极管，所述TFT包括栅极、有源层、源极和所述漏极，其特征在于，还包括：与所述源极和所述漏极之间的间隙相对设置的金属图案，所述金属图案设置在所述有源层远离所述衬底基板的一侧；所述金属图案设置在覆盖所述TFT的第一绝缘层上；所述光敏二极管设置在覆盖所述TFT的第一绝缘层和覆盖所述金属图案的第二绝缘层组成的绝缘层内部；所述光敏二极管通过退火等工艺制作，此时，退火工艺中使用的高温先传导至所述金属图案，所述金属图案吸收大量的热量，避免退火工艺中使用的高温传递到源极和漏极之间的间隙。