[发明专利]采集装置、采集系统及采集方法在审
| 申请号： | 202110328197.1 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113075209A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈予郎;陈庆峰 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例应用于半导体检测领域，提供一种采集装置、采集系统及采集方法，其中，采集装置，包括：底座以及设置在底座上的芯盘，芯盘用于承载芯片托盘；第一支撑部，第一支撑部设置在底座上、且连接有第一拍摄组件，第一拍摄组件设置在芯盘上方；第二支撑部，第一支撑部设置在底座上、且连接有第二拍摄组件，第二拍摄组件设置在芯盘上方；第一拍摄组件用于拍摄芯片托盘的第一区域的图像，第二拍摄组件用于拍摄芯片托盘的第二区域的图像，第一区域和第二区域之和涵盖芯片托盘的整个区域。本申请实施例提供的采集装置可以实现在单次拍摄过程中，获取整个芯片托盘的图像，从而获取芯片托盘上所有芯片的编码。 | ||
| 搜索关键词： | 采集 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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