[发明专利]采集装置、采集系统及采集方法在审
申请号: | 202110328197.1 | 申请日: | 2021-03-26 |
公开(公告)号: | CN113075209A | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 陈予郎;陈庆峰 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本申请实施例应用于半导体检测领域,提供一种采集装置、采集系统及采集方法,其中,采集装置,包括:底座以及设置在底座上的芯盘,芯盘用于承载芯片托盘;第一支撑部,第一支撑部设置在底座上、且连接有第一拍摄组件,第一拍摄组件设置在芯盘上方;第二支撑部,第一支撑部设置在底座上、且连接有第二拍摄组件,第二拍摄组件设置在芯盘上方;第一拍摄组件用于拍摄芯片托盘的第一区域的图像,第二拍摄组件用于拍摄芯片托盘的第二区域的图像,第一区域和第二区域之和涵盖芯片托盘的整个区域。本申请实施例提供的采集装置可以实现在单次拍摄过程中,获取整个芯片托盘的图像,从而获取芯片托盘上所有芯片的编码。 | ||
搜索关键词: | 采集 装置 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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