[发明专利]导电,抗腐蚀,耐磨损,高硬度类金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610278839.0 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107338414A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 白春阳;王俊波;任睦琳 | 申请（专利权）人： | 大连金泰表面工程科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导电，抗腐蚀，耐磨损，高硬度碳基薄的制备方法，用真空室加热管加热，离子源对氩气进行离化，对真空室转架上装夹的基材进行清洗和活化，待达到真空压强后，磁控靶沉积钛金属，再用离子源进行乙炔离化，最后惰性气体中冷却。本发明制备的薄膜导电,抗腐蚀,耐磨损,高硬度等性能，满足半导体，手机，化工电解，电火花加工等众多行业应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 腐蚀 耐磨 硬度 金刚石 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种导电，抗腐蚀，耐磨损，高硬度碳基薄膜的制备方法，其特征在于，具体包括步骤如下：第一步：基材表面清洗；第二步：基材被装到真空设备转架上；第三步：真空设备被抽真空并加热；第四步：离子源对基材表面清洗和活化；第五步：在基材表面沉积钛金属过渡层；第六步：在钛金属过渡层上沉积掺杂钛金属类金刚石薄膜。
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