[发明专利]导电,抗腐蚀,耐磨损,高硬度类金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610278839.0 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107338414A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 白春阳;王俊波;任睦琳 | 申请（专利权）人： | 大连金泰表面工程科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电 腐蚀 耐磨 硬度 金刚石 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种导电，抗腐蚀，耐磨损，高硬度碳基薄膜的制备方法，其特征在于，具体包括步骤如下：
第一步：基材表面清洗；
第二步：基材被装到真空设备转架上；
第三步：真空设备被抽真空并加热；
第四步：离子源对基材表面清洗和活化；
第五步：在基材表面沉积钛金属过渡层；
第六步：在钛金属过渡层上沉积掺杂钛金属类金刚石薄膜。
2.如权利要求1 所述的导电，抗腐蚀，耐磨损，高硬度碳基薄膜的制备方法，其特征在于，第一步中，预处理是指将基材依次在特殊溶液中超声处理清洗20min。
3.如权利要求1 所述的导电,抗腐蚀,耐磨损,高硬度碳基薄膜的制备方法，其特征在于，第四步中，利用离子源离化氩气对基材清洗和活化30min。
4.如权利要求1 所述的导电,抗腐蚀,耐磨损,高硬度碳基薄膜的制备方法，其特征在于，第四步中温度为50-100度。
5.如权利要求1 所述的导电,抗腐蚀,耐磨损,高硬度碳基薄膜的制备方法，其特征在于，第五步中，用磁控靶沉积钛金属，磁控靶电流为2-60A，钛过渡层厚度为200-300nm。
6.如权利要求1 所述的导电,抗腐蚀,耐磨损,高硬度碳基薄膜的制备方法，其特征在于，第六步中，利用离子源离化乙炔，电流为30-40A，钛掺杂类金刚石碳基薄膜为1-2μm。
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