[发明专利]一种倒封装翻转及光路结构在审
申请号: | 201610265785.4 | 申请日: | 2016-04-19 |
公开(公告)号: | CN105914169A | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 刘宁 | 申请(专利权)人: | 刘宁 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116620 辽宁省大连市经济技*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开了一种倒封装翻转及光路结构,用于芯片的拾取、翻转、视觉定位和贴装。它包括反射镜、翻转吸头、装片吸头、相机镜头组、翻转基座、荷重线圈、荷重驱动框架;反射镜设置在翻转吸头和装片吸头交接位置的正下方。当翻转吸头旋转到交接位置的时候,下光路无遮挡,此时对顶针帽上的芯片进行拍照;当翻转吸头旋转到取片位置的时候,上光路无遮挡,此时对装片吸头上的芯片进行拍照;从而实现了装片吸头在水平方向的同一个位置可一并进行上识别拍照任务和芯片交接任务。优点是缩短了装片吸头的运动行程、减少了一个运动位置,从而提高了产能。此外集成化的荷重音圈结构紧凑、负载小,降低了震动导致的误差。 | ||
搜索关键词: | 一种 封装 翻转 结构 | ||
【主权项】:
一种倒封装翻转及光路结构,用于芯片的拾取、翻转、视觉定位和贴装,它包括反射镜、翻转吸头、装片吸头、相机镜头组、翻转基座、荷重线圈、荷重驱动框架、相机固定夹;所述的反射镜、翻转吸头、装片吸头,其特征在于,反射镜设置在翻转吸头和装片吸头交接位置的正下方,反射镜、翻转吸头交接位置、装片吸头交接位置处于同一竖直轴线上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造