[发明专利]一种陶瓷电容式压力传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种陶瓷电容式压力传感器及制备方法，压力传感器包括基座，基座顶面设有感压膜，顶面与感压膜之间设有平面电极，感压膜表面设置有导电屏蔽层和绝缘防水层，基座底面设置有导电屏蔽层，基座侧壁成型有沟槽或通孔，沟槽或通孔表面设置有导电屏蔽层和绝缘防水层，沟槽或通孔内的导电屏蔽层连通感压膜表面和基座底面的导电屏蔽层。基座顶面、底面的导电屏蔽层与ASIC电路地线连接，形成电磁屏蔽罩，解决了导电流体对测量电容的干扰问题，使导电流体与基座之间完全绝缘，基座侧壁的沟槽或通孔表面的导电屏蔽层，可以和顶面、底面形成可靠电连接，感压面和沟槽或通孔内表面的绝缘防水层，可以将导电屏蔽层与被测导电流体和外壳隔离开。

主权项

1.一种陶瓷电容式压力传感器，包括，基座，所述基座具有一顶面和底面，所述顶面设置有感压膜，所述顶面与所述感压膜之间设置有一对平行的平面电极，其特征在于，所述感压膜表面由下至上顺次设置有导电屏蔽层和绝缘防水层，所述基座底面设置有导电屏蔽层；所述基座侧壁成型有上下贯穿的沟槽或通孔，所述沟槽或通孔内表面沿远离所述基座的方向依次设置有导电屏蔽层和绝缘防水层，所述沟槽或通孔内的导电屏蔽层连通所述感压膜表面和基座底面的导电屏蔽层；所述陶瓷电容式压力传感器通过如下步骤制备：S1、提供一基座，所述基座顶面设置感压膜，基座顶面和感压膜之间设置有平面电极，在所述感压膜表面、基座底面及所述基座侧壁的沟槽或通孔内表面制备导电屏蔽层；S2、在所述感压膜上的导电屏蔽层和所述沟槽或通孔内的导电屏蔽层表面制备绝缘防水层。