[发明专利]基板输送用机械手

摘要

提供一种基板输送用机械手，该基板输送用机械手能够将基板的卡紧时的颗粒的产生抑制在最小限度并能够防止液体流入到基板上，能够防止基板的污染。多个接受部件(3)具有：平板状的支承部，其为安装在机械手主体(1)上的部分；基板外周保持部(32)，其为由支承部支承的部分，保持基板的外周；以及基板下表面保持部(33)，其为由支承部支承的部分，保持基板的下表面，基板外周保持部(32)具有从支承部竖立设置且与基板的外周接触而保持基板的部分，基板下表面保持部(33)具有从所保持的基板的外周侧朝向内侧倾斜的部分，基板外周保持部(32)与基板下表面保持部(33)被间隙或者槽(35)隔离。

主权项

1.一种基板输送用机械手，具有：平板状的机械手主体；多个接受部件，该多个接受部件设置在机械手主体上，用于保持基板的边缘；以及把持部件，该把持部件被设置为能够相对于机械手主体移动，把持基板的边缘，该基板输送用机械手构成为通过致动器使所述把持部件移动，利用所述接受部件和所述把持部件夹持并固定基板，该基板输送用机械手的特征在于，所述多个接受部件具有：平板状的支承部，该支承部是安装在所述机械手主体上的部分；基板外周保持部，该基板外周保持部是由支承部支承的部分，保持基板的外周；以及基板下表面保持部，该基板下表面保持部是由支承部支承的部分，保持基板的下表面，将所述支承部从所述基板下表面保持部的外端进一步延长，在延长的该支承部上形成另一个基板外周保持部，从而使两个基板外周保持部相对于穿过所述基板下表面保持部的中心的中心线呈线对称地形成，所述两个基板外周保持部具有从所述支承部竖立设置且与基板的外周接触而保持基板的部分，所述基板下表面保持部具有从所保持的基板的外周侧朝向内侧倾斜的部分，所述两个基板外周保持部与所述基板下表面保持部被间隙隔离，并且由所述两个基板外周保持部与所述基板下表面保持部包围的所述支承部的上表面露出。