[发明专利]一种湿制程可视窗及其制作方法与湿制程设备在审
申请号: | 201610074890.X | 申请日: | 2016-02-02 |
公开(公告)号: | CN105753331A | 公开(公告)日: | 2016-07-13 |
发明(设计)人: | 李嘉 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00;B08B11/04;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种湿制程可视窗,包括透明视窗和分别设于所述透明视窗内侧和外侧并相互吸引的内滑动条和外滑动条,所述内滑动条的长度两端延伸至靠近所述透明视窗的边缘。本发明还公开了一种湿制程可视窗的制作方法及湿制程设备。本发明通过在透明视窗的两侧分别设置有相互吸引的内滑动条和外滑动条,通过内滑动条和外滑动条之间的引力从而使内滑动条紧贴视窗内表面,从而可以在透明视窗外擦拭透明视窗内的凝结液、粉尘等等物质,从而透过透明视窗看清腔室内部状况。 | ||
搜索关键词: | 一种 湿制程可 视窗 及其 制作方法 湿制程 设备 | ||
【主权项】:
一种湿制程可视窗,其特征在于,包括透明视窗(10)和分别设于所述透明视窗(10)内侧和外侧并相互吸引的内滑动条(20)和外滑动条(30),所述内滑动条(20)的长度两端延伸至靠近所述透明视窗(10)的边缘。
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