[发明专利]一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统有效
| 申请号： | 201610053543.9 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN105892234B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 李艳秋;梅秋丽 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 刘芳,仇蕾安 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，沿着光路传播方向，所述系统包括三组反射镜，第一组反射镜由视场复眼阵列组成，第二组反射镜由光阑复眼阵列组成，第三组反射镜为中继镜组；其中，所述视场复眼阵列由N个视场复眼构成，每一视场复眼为一个自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面为矩形，且所有矩形的尺寸均不相同；所述光阑复眼阵列由N个光阑复眼构成，每一光阑复眼为一个球面反射镜或自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面均为矩形，且所有矩形的尺寸相同；视场复眼阵列上的N个视场复眼与光阑复眼阵列上的N个光阑复眼一一对应，所述N为照明系统出瞳面上光强值不为零的像素的总数；本发明系统可在出瞳面上实现像素化光强分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 像素 化光瞳 紫外 光刻 自由 曲面 照明 系统 | ||
【主权项】：
一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，其特征在于，沿着光路传播方向，所述系统包括三组反射镜，第一组反射镜由视场复眼阵列组成，第二组反射镜由光阑复眼阵列组成，第三组反射镜为中继镜组；其中，所述视场复眼阵列由N个视场复眼构成，每一视场复眼为一个自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面为矩形，且所有矩形的尺寸均不相同；所述光阑复眼阵列由N个光阑复眼构成，每一光阑复眼为一个球面反射镜或自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面均为矩形，且所有矩形的尺寸相同；视场复眼阵列上的N个视场复眼与光阑复眼阵列上的N个光阑复眼一一对应，所述N为照明系统出瞳面上光强值不为零的像素的总数；所述光阑复眼用于将入射光束反射至与其对应的光阑复眼上，并且在光阑复眼上形成一个弧形光斑；所述光阑复眼用于对入射的弧形光斑进行整形，使其反射一设定尺寸且均匀的弧形光斑至中继镜组；所述中继镜组用于将入射的的弧形光斑成像于掩模面上，且掩模面上所有弧形光斑的尺寸相同。
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