[发明专利]一种有机材料的溶液成膜方法及设备有效
申请号: | 201610044195.9 | 申请日: | 2016-01-22 |
公开(公告)号: | CN105679935B | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 莫越奇 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人: | 罗啸秋 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于膜材料制备技术领域,公开了一种有机材料的溶液成膜方法及设备。所述方法为将有机材料溶于含有高沸点溶剂和低沸点溶剂的混合溶剂中,然后通过成膜技术将其淀积在基板上,得到液膜;将含有液膜的基板在旋转、变频振动及程序升温条件下常压蒸除低沸点溶剂,然后停止旋转及振动,在真空条件及程序升温条件下蒸除高沸点溶剂,得到有机材料薄膜。本发明通过旋转及变频振动将基板进行往复式晃动,使得溶液保持流动,减小溶液边缘和中间的差别,以及溶液表面和内部的差别;同时通过程序升温,加快溶剂分子的热运动,提高溶剂干燥过程的成膜质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 材料 溶液 方法 设备 | ||
【主权项】:
一种有机材料的溶液成膜方法,其特征在于包括以下步骤:(1)预成膜:将有机材料溶于含有高沸点溶剂和低沸点溶剂的混合溶剂中,然后通过成膜技术将其淀积在基板上,得到液膜;所述高沸点溶剂的沸点范围为150~280℃,低沸点溶剂的沸点范围为50~150℃;(2)动态干燥:将含有液膜的基板在旋转、变频振动及程序升温条件下常压蒸除低沸点溶剂,然后停止旋转及振动,在真空条件及程序升温条件下蒸除高沸点溶剂,得到有机材料薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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