[发明专利]一种有机材料的溶液成膜方法及设备有效

专利信息
申请号: 201610044195.9 申请日: 2016-01-22
公开(公告)号: CN105679935B 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 莫越奇 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/56
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司44245 代理人: 罗啸秋
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于膜材料制备技术领域,公开了一种有机材料的溶液成膜方法及设备。所述方法为将有机材料溶于含有高沸点溶剂和低沸点溶剂的混合溶剂中,然后通过成膜技术将其淀积在基板上,得到液膜;将含有液膜的基板在旋转、变频振动及程序升温条件下常压蒸除低沸点溶剂,然后停止旋转及振动,在真空条件及程序升温条件下蒸除高沸点溶剂,得到有机材料薄膜。本发明通过旋转及变频振动将基板进行往复式晃动,使得溶液保持流动,减小溶液边缘和中间的差别,以及溶液表面和内部的差别;同时通过程序升温,加快溶剂分子的热运动,提高溶剂干燥过程的成膜质量。
搜索关键词: 一种 有机 材料 溶液 方法 设备
【主权项】:
一种有机材料的溶液成膜方法,其特征在于包括以下步骤:(1)预成膜:将有机材料溶于含有高沸点溶剂和低沸点溶剂的混合溶剂中,然后通过成膜技术将其淀积在基板上,得到液膜;所述高沸点溶剂的沸点范围为150~280℃,低沸点溶剂的沸点范围为50~150℃;(2)动态干燥:将含有液膜的基板在旋转、变频振动及程序升温条件下常压蒸除低沸点溶剂,然后停止旋转及振动,在真空条件及程序升温条件下蒸除高沸点溶剂,得到有机材料薄膜。
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