[发明专利]薄膜光罩、贴合辅具、贴合与曝光辅助装置

摘要

本发明公开了一种薄膜光罩、贴合辅具、贴合与曝光辅助装置及将一薄膜光罩贴合于一曲面基板的方法，运用贴合辅具将薄膜光罩压合至具有一光阻层的曲面基板上，使薄膜光罩曲面化，再将贴合辅具、薄膜光罩、曲面基板的暂时结构送至曝光机，即可于曲面基板上制作出符合曲面要求的高精度彩色光阻图案。

主权项

一种薄膜光罩，用以贴合于一曲面基板，使该曲面基板可制作出一光阻层，其特征在于，该薄膜光罩包含：一薄膜基材，由一挠性材料构成；及一薄膜光罩层，形成于该薄膜基材上，该薄膜光罩层构成一图案，该图案可视，该薄膜光罩层贴合于该曲面基板的该光阻层处；其中，该薄膜基材的厚度介于1‑100微米之间，该薄膜光罩层介于10‑3000纳米之间。