[发明专利]金属氧化膜的成膜方法

摘要

本发明的目的在于提供一种提高生产效率且得到高品质的金属氧化膜的金属氧化膜的成膜方法。并且，本发明的成膜方法实施以下的处理。在溶液容器(15)内，使含有金属元素即铝的原料溶液(14)雾化而得到原料溶液雾(M1)。在独立于溶液容器(15)的溶液容器(25)内，使含有氧化铝形成用的反应助剂的反应辅助溶液(24)雾化而得到助剂雾(M2)。并且，经由路径(L1)和(L2)向设置于反应容器(11)内的喷嘴(12)供给原料溶液雾(M1)和助剂雾(M2)。然后，在喷嘴(12)内使原料溶液雾(M1)和助剂雾(M2)混合而得到混合雾(M3)，向处于加热状态的P型硅基板(4)的背面上供给混合雾(M3)。

主权项

一种金属氧化膜的成膜方法，其特征在于，具备以下步骤：(a)在第1容器(15)内，使含有金属元素的原料溶液(14)雾化而得到原料溶液雾(M1)的步骤；(b)在独立于所述第1容器的第2容器(25)内，使含有所述金属元素用的反应助剂的反应辅助溶液(24)雾化而得到助剂雾(M2)的步骤；以及，(c)经由相互独立的第1和第2路径(L1，L2)将得到的所述原料溶液雾和所述助剂雾供给到反应容器内，并将载置于所述反应容器(11)内的基板(4)加热，在所述基板的一个主面上使含有所述金属元素的金属氧化膜成膜的步骤。