[发明专利]金属氧化膜的成膜方法有效

专利信息
申请号: 201580080986.0 申请日: 2015-06-18
公开(公告)号: CN107683346B 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 平松孝浩;织田容征;川原村敏幸;藤田静雄;内田贵之 申请(专利权)人: 东芝三菱电机产业系统株式会社;国立大学法人京都大学;高知县公立大学法人
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/31;H01L21/316
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 周欣
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 金属 氧化 方法
【权利要求书】:

1.一种金属氧化膜的成膜方法,其特征在于,具备以下步骤:

(a)在第1容器内,使含有金属元素的原料溶液雾化而得到原料溶液雾的步骤;

(b)在独立于所述第1容器的第2容器内,使含有所述金属元素用的反应助剂的反应辅助溶液雾化而得到助剂雾的步骤;以及,

(c)经由相互独立的第1和第2路径将得到的所述原料溶液雾和所述助剂雾供给到反应容器内,并将载置于所述反应容器内的基板加热,在所述基板的一个主面上使含有所述金属元素的金属氧化膜成膜的步骤,

所述反应辅助溶液为含有氨和盐酸中的一种的溶液。

2.根据权利要求1所述的金属氧化膜的成膜方法,其中,所述反应容器在内部具有喷嘴,

所述步骤(c)包含以下步骤:

(c-1)经由所述第1和第2路径向所述喷嘴供给所述原料溶液雾和所述助剂雾的步骤,

(c-2)在所述喷嘴内使所述原料溶液雾和所述助剂雾混合而得到混合雾的步骤,以及

(c-3)向所述基板的一个主面上供给所述混合雾的步骤。

3.根据权利要求1或2所述的金属氧化膜的成膜方法,其中,所述金属元素为铝。

4.根据权利要求3所述的金属氧化膜的成膜方法,其中,所述金属氧化膜为氧化铝膜。

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