[发明专利]可UV硬化的CMP研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201580066123.8 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN107000170B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | M·C·奥里拉利;R·巴贾杰;F·C·雷德克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24D3/32 | 分类号： | B24D3/32;B24D11/00;B29C35/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造化学机械研磨垫的方法，包括以下步骤：将含有丙烯酸酯官能团的聚合物前体引入模具中；在该聚合物前体中提供磨料颗粒和光引发剂以形成混合物；以及在该混合物被容纳于该模具的底板和顶盖之间时，通过该模具的透明区段使该混合物暴露于紫外线辐射，以使该聚合物前体形成自由基，通过使自由基彼此交联而从该聚合物前体形成聚合物基质。研磨层包括该聚合物基质，该聚合物基质具有分散在其中的磨料颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | uv 硬化 cmp 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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- 2016-02-29 - 2021-05-14 - B24D3/32
- 本发明的课题在于提供多孔研磨具，在研磨作业中，能够使接触于被研磨物的磨粒和接触于被研磨物的树脂部分的比例保持在一定的范围，即便在不熟练的人员将研磨具安装在自动化的装置中并使用的情况下，也无需为了使装置稳定而进行复杂的调整，能够得到精密的表面精度。上述课题通过包含各向异性弹性发泡体、聚合物、磨粒的多孔研磨具解决。
- 树脂结合剂超硬砂轮及其制造方法-202011472644.2
- 冯秀鹏;潘富强;李洪雪 - 珠海市巨海科技有限公司
- 2020-12-15 - 2021-04-20 - B24D3/32
- 本发明提供一种树脂结合剂超硬砂轮及其制造方法。树脂结合剂超硬砂轮包括基体和原料包括树脂粉和超硬磨料的工作层，基体包括采用金属材料制成的基底层和原料包括金属粉、氧化物粉和树脂粉的过渡层，过渡层固定在基底层的第一安装槽中；工作层固定在过渡层的第二安装槽中。制造方法包括成型基底层并形成第一安装槽；将原料混合物加入已置基底层的模具进行热压成型形成过渡层，对基体进行切削加工形成第二安装槽；将原料混合物加入已置基体的模具进行热压成型形成工作层。过渡层设置在金属基底层以及树脂结合剂超硬工作层之间很好地形成材料间的梯度过渡，使工作层与基体热性能参数接近，有效避免脱环和裂纹现象，提高砂轮成品率。
- 砷化镓晶体减薄用砂轮、制备方法及应用-202010289625.X
- 王礼华;张高亮;赵延军;钱灌文;曹剑锋 - 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
- 2020-04-14 - 2021-04-02 - B24D3/32
- 本发明提供了一种砷化镓晶体减薄用砂轮、制备方法及应用，砂轮具有多孔结构，由以下重量百分比的原料制成：金刚石磨料10‑35%、聚酰亚胺树脂粉15‑42%、发泡剂5‑20%、氟化钙5‑20%、二硫化钼3‑15%、白刚玉8‑30%、氧化锌5‑12%。本发明砂轮为有多孔结构，多孔结构建立的结合剂桥，在磨削时产生有效断裂，砂轮自锐性好，减少修整频次。降低砷化镓晶片表面损伤层，为后续抛光工序减轻压力，提高周期生产效率。砂轮体系中添加二硫化钼固体润滑剂材料，可以降低砂轮摩擦系数，从而有效降低磨削热，减小工件烧伤的概率，提高砷化镓晶片表面质量。
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