[发明专利]磁盘用基板的制造方法和磨削用磨石有效
申请号: | 201580063043.7 | 申请日: | 2015-12-29 |
公开(公告)号: | CN107004431B | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 小泽广昭;高桥武良 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;B24B9/00;B24D5/00;B24D5/14 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 庞东成;褚瑶杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种磁盘用基板的制造方法,该方法能够高品质地抛光圆板状基板的端面,能够进行稳定的磨削加工。本发明中,使磨削液与圆板状基板的端面部分接触,使磨石与其外周侧端面接触并相对移动,对基板端面进行磨削加工。上述磨石形成为圆筒状,并且在其内周侧具有两个以上并列的槽形状,该两个以上的槽形状包括粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽。上述磨石具有抑制利用粗磨削加工用的槽进行磨削加工时产生的磨削屑移动至精密磨削加工用的槽中的单元。并且,使基板的外周侧端面依次与上述磨石的粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽接触,对基板的外周侧端面进行磨削加工。 | ||
搜索关键词: | 磁盘 用基板 制造 方法 磨削 磨石 | ||
【主权项】:
1.一种磁盘用基板的制造方法,该制造方法具有下述处理:一边使磨削液与圆板状的基板的端面部分接触,一边使磨石与所述基板的外周侧端面接触并相对移动,由此对所述基板的端面进行磨削加工,该制造方法的特征在于,所述磨石形成为圆筒状,并且在其内周侧具有两个以上的槽形状,所述两个以上的槽形状包括粗磨削加工用的槽和精密磨削加工用的槽,在所述粗磨削加工用的槽与所述精密磨削加工用的槽之间具有壁,通过使所述基板的外周侧端面依次与所述粗磨削加工用的槽和所述精密磨削加工用的槽接触,从而对所述基板的外周侧端面进行磨削加工。
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