[发明专利]光吸收设备

摘要

一种光吸收设备包括衬底、在所述衬底上方在第一所选区域上的光吸收层、在所述光吸收层上方的硅层、围绕所述光吸收层的侧壁的至少部分的间隔物、围绕所述间隔物的至少部分的隔离层，其中所述光吸收设备能实现高带宽和低暗电流。

主权项

1.一种形成光吸收设备的方法，所述方法包括：掺杂衬底的表面以在所述衬底中形成掺杂层；以及在所述掺杂层的顶部形成光敏结构，所述光敏结构包括(1)在所述光敏结构的底部处或附近的反向掺杂层；和(2)在所述反向掺杂层的顶部的掺杂剂控制层，其中所述掺杂剂控制层具有阻止掺杂剂从所述反向掺杂层扩散到所述光敏结构中的本征层的材料，并且其中所述衬底是基于硅的，并且其中所述反向掺杂层和所述本征层都是基于锗的。