[发明专利]平台搬运台车有效
| 申请号： | 201580057427.8 | 申请日： | 2015-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN107073682B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 佐藤三千登;金井洋介 | 申请（专利权）人： | 信越半导体股份有限公司;不二越机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平台搬运台车，其用以搬运从研磨装置卸除的平台、或要安装至前述研磨装置上的前述平台，所述平台搬运台车的特征在于，具备：平台保持部，用以保持前述平台；支持台，从下侧来支持该平台保持部；升降机构，实行前述平台保持部的升降；以及，倾斜机构，使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜；并且，能够在利用前述倾斜机构来使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜的状态下，搬运前述平台。由此，提供一种平台搬运台车，其能够缩小搬运平台时所需的宽度，因而能够缩小用以搬运平台的通路的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 搬运 台车 | ||
【主权项】：
一种平台搬运台车，用以搬运从研磨装置卸除的平台、或要安装至前述研磨装置上的前述平台，前述平台搬运台车的特征在于，具备：平台保持部，用以保持前述平台；支持台，从下侧来支持前述平台保持部；升降机构，实行前述平台保持部的升降；以及，倾斜机构，使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜；能够在利用前述倾斜机构来使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜的状态下，搬运前述平台。
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