[发明专利]五氯乙硅烷的制造方法以及采用该方法制造的五氯乙硅烷有效
| 申请号： | 201580051998.0 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN107074562B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 八嶋裕之;小塚隆弘;寺崎圣一;J-M·吉拉尔 | 申请（专利权）人： | 电化株式会社;乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供五氯乙硅烷的新型制造方法，通过该制造方法的实施，得到纯度为90质量％以上的五氯乙硅烷。该制造方法具备：高温反应工序，其中，在高温下使包含气化的四氯硅烷和氢气的原料气体反应，得到包含三氯硅烷的反应生成气体；五氯乙硅烷生成工序，其中，使高温反应工序中得到的反应生成气体与使通过该反应生成气体的冷却而产生的凝结液循环冷却而得到的冷却液接触而急冷，使五氯乙硅烷在凝结液中生成；和回收工序，其中将生成的五氯乙硅烷回收。 | ||
| 搜索关键词： | 五氯乙 硅烷 制造 方法 以及 采用 | ||
【主权项】：
1.五氯乙硅烷的制造方法，其特征在于，具备：高温反应工序，其中，在高温下使包含气化的四氯硅烷和氢气的原料气体反应，得到包含三氯硅烷的反应生成气体；五氯乙硅烷生成工序，其中，使高温反应工序中得到的反应生成气体与使通过该反应生成气体的冷却而产生的凝结液循环冷却而得到的冷却液接触而急冷，使五氯乙硅烷在凝结液中生成；和回收工序，其中将生成的五氯乙硅烷回收。
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