[发明专利]在增加真空镀膜厂输送速度下的节能方法及装置

摘要

公开的是一种用于在真空镀膜厂中节能同时增加输送速度的装置以及方法，此真空镀膜厂由溅射区块(3)以及气体分离区块(2)的一序列与连续基板平面(1’)组成。所述装置具有下述特征：a)每个溅射区块(3)由存储器桶(12)组成，运输装置(11)位在存储器桶(12)内；存储器凸缘(6)位在基板平面(1’)之上的紧邻地区中；阴极承载块(5)连同标靶(8)以及进气管(10)、与防溅板(9)一起位在基板紧邻地区中的存储器盖(4)中；b)在基板平面(1’)的区域中，气体分离区块(2)被提供了沿着气体分离区块(2)的全长延伸的隧道盖(14)；c)溅射区块(3)及/或气体分离区块(2)是利用一或更多个真空泵(15)抽空，且在所述过程中泵送的空气被困在具有可调整体积的储气罐(25)中。

主权项

1.一种用于在真空镀膜设备中节能并同时增加吞吐量速度的装置，所述真空镀膜设备由具有连续基板平面(1’)的溅射区块(3)以及气体分离区块(2)的一序列组成，所述装置具有下述特征：d)每个所述溅射区块(3)由具有用于运输基板(1)的内部运输装置(11)的存储器桶(12)以及利用存储器凸缘(6)连接至所述存储器桶(12)的至少一个存储器盖(4)组成，其中所述存储器凸缘(6)位在所述基板平面(1’)之上的一紧邻地区中，且其中具有标靶(8)以及进气管(10)的阴极承载块(5)位在所述存储器盖(4)中具有防溅板(9)的所述基板的该紧邻地区中，e)在所述基板平面(1’)的区域中，所述气体分离区块(2)具有隧道盖(14)，所述隧道盖(14)沿着所述气体分离区块(2)的全长延伸，且可利用多个升及降组件(17)而合适于所述各自基板(1)的厚度，使得垂直地在所述基板(1)以及所述隧道盖(14)之间只留下小间隙(18)，f)溅射区块(3)及/或气体分离区块(2)是利用一或更多个真空泵(15)抽空，其中在过程中输送的空气被收集在可变体积储气罐(25)中，且当随后再次充气所述溅射区块(3)和所述气体分离区块(2)其中之一时，被运送回相对应的所述溅射区块(3)和所述气体分离区块(2)其中之一。