[实用新型]一种MEMS压力传感元件有效
| 申请号： | 201520454215.0 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN204758194U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 郑国光 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS压力传感元件，包括：设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；悬置于密封腔体内的平行于压力敏感膜的压力敏感梁，其上设置有压敏电阻；压力敏感梁的中心与压力敏感膜的中心固定连接，外周与基底凹槽的底壁固定连接，以使压力敏感膜在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本实用新型的MEMS压力传感元件，压力作用在压力敏感膜上时，压力敏感膜带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲，继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力 传感 元件 | ||
【主权项】：
一种MEMS压力传感元件，其特征在于，包括：设有凹槽的基底(1)；设置于所述基底(1)上方的压力敏感膜(100)，所述压力敏感膜(100)密封所述凹槽的开口以形成密封腔体(700)；悬置于所述密封腔体(700)内的平行于所述压力敏感膜(100)的压力敏感梁(200)，所述压力敏感梁(200)上设置有压敏电阻(300)；其中，所述压力敏感梁(200)的中心通过第一锚点(400)与压力敏感膜(100)的中心固定连接，所述压力敏感梁(200)的外周与基底(1)凹槽的底壁固定连接，以使所述压力敏感膜(100)在外界压力作用下带动所述压力敏感梁(200)弯曲变形。
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- 王凯;王海龙;方煦;雷小波 - 宁波宝力德传感科技有限公司
- 2017-03-09 - 2017-11-10 - G01L9/02
- 本实用新型公开了一种变送器，包括依次电连接的开关电源电路、直流电源DC‑DC电路、精密基准稳压电路和惠斯通电桥电路类型的传感器，依次电连接的传感器信号前端滤波电路、仪表放大器电路和输出滤波电路，与输出滤波电路的输出端电连接的0‑20mA信号输出电路、0‑5V信号输出电路和0‑10V信号输出电路，与输出滤波电路的输出端电连接的输出百分比LED显示电路；开关电源电路的输入端与220V交流电连接。本实用新型具有电源通用性强，稳定可靠，抗干扰能力强、输出精度高，频率响应快，调试便捷的特点。
- 一种单体液压支柱用压力传感器-201720210290.1
- 刘道香;宋凯;房信强;吕爱华 - 山东瀚业机械有限公司
- 2017-03-06 - 2017-09-19 - G01L9/02
- 一种单体液压支柱用压力传感器，属于单体液压支柱技术领域。包括压力传感器主体（801）以及安装在压力传感器主体（801）上的压力检测模块、显示模块和供电模块，其特征在于所述的压力检测模块和供电模块分别设置在压力传感器主体（801）的两端，压力传感器主体（801）的侧部设有通油孔（802），通油孔（802）用于将压力检测模块和待检测液压油连通。本单体液压支柱用压力传感器使压力检测模块和供电模块均位于单体液压支柱外侧，便于压力传感器的检修或者更换供电模块，且能够避免高压的液压油对供电模块或压力检测模块造成损坏，安装和检修方便，并且使用寿命长。
- 一种MEMS压力传感元件及其制造方法-201510367571.3
- 郑国光 - 歌尔股份有限公司
- 2015-06-29 - 2017-07-04 - G01L9/02
- 本发明公开了一种MEMS压力传感元件，包括设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；悬置于密封腔体内的平行于压力敏感膜的压力敏感梁，其上设置有压敏电阻；压力敏感梁的中心与压力敏感膜的中心固定连接，外周与基底凹槽的底壁固定连接，以使压力敏感膜在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本发明还公开了一种MEMS压力传感元件的制造方法。本发明的MEMS压力传感元件，压力作用在压力敏感膜上时，压力敏感膜带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲，继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰。
- 基于列车制动的列车管压力监测系统-201620898312.3
- 朱焰冰 - 成都卡莱博尔信息技术股份有限公司
- 2016-08-18 - 2017-03-15 - G01L9/02
- 本实用新型公开了一种基于列车制动的列车管压力监测系统，包括传感装置、滤波装置、信号放大装置、模数转换装置、微控制器和显示装置；传感装置的输出端与滤波器的输入端连接，滤波器的输出端与信号放大装置的输入端连接，信号放大装置的输出端与模数转换装置的输入端连接，模数转换装置的输出端连接与微控制器的输入端连接，微控制器的输出端与显示装置的输入端连接。本实用新型设置有滤波电路和信号放大电路，可以有效的滤除电路中的无用信号并放大有用信号，还原信号的真实性。
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