[实用新型]一种钽酸锂芯片的研磨装置有效
| 申请号： | 201520135368.9 | 申请日： | 2015-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN204546248U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 尹明;汪力 | 申请（专利权）人： | 昆山科尼电子器材有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215325 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钽酸锂芯片的研磨装置，包括机台，机台上设有可转动的下研磨盘，下研磨盘为圆形；下研磨盘上设有能转动的上研磨盘，上研磨盘也为圆形，且直径与下研磨盘一致；上研磨盘的转动轴心与下研磨盘一致，但转动方向相反；机台还设有频率监测装置，上研磨盘的上端面设有多个供频率监测装置的探测头伸入的通孔，频率监测装置与驱动下研磨盘和上研磨盘的电机电气连接。该实用新型的一种钽酸锂芯片的研磨装置，能提高钽酸锂芯片的研磨的成品率，且加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽酸锂 芯片 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种钽酸锂芯片的研磨装置，其特征在于，包括机台，所述机台上设有可转动的下研磨盘，所述下研磨盘为圆形；所述下研磨盘上设有能转动的上研磨盘，所述上研磨盘也为圆形，且直径与所述下研磨盘一致；所述上研磨盘的转动轴心与所述下研磨盘一致，但转动方向相反；所述机台还设有频率监测装置，所述上研磨盘的上端面设有多个供所述频率监测装置的探测头伸入的通孔，所述频率监测装置与驱动所述下研磨盘和上研磨盘的电机电气连接。
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