[发明专利]感光单元、光感测装置及感光单元的制造方法

摘要

一种感光单元，包括第一电极、第一绝缘层、感光结构以及第二电极。第一绝缘层覆盖第一电极且具有暴露出第一电极的开口。感光结构位于第一电极上且填入第一绝缘层的开口。感光结构包括相堆叠的第一感光层及第二感光层。第一感光层的材质为Si_xGe_yO_z。第二感光层的材质为Si_vO_w。第二电极覆盖感光结构。此外，包括上述感光单元的光感测装置以及上述感光单元的制造方法也被提出。

主权项

一种感光单元，包括：一第一电极；一第一绝缘层，覆盖该第一电极且具有暴露出该第一电极的一第一开口；一感光结构，位于该第一电极上且填入该第一绝缘层的该第一开口，其中该感光结构包括：一第一感光层，该第一感光层的材质为Si_xGe_yO_z，x、y、z均不为零；以及一第二感光层，与该第一感光层相堆叠，该第二感光层的材质为Si_vO_w，v、w均不为零；以及一第二电极，覆盖该感光结构。