[发明专利]钨钛管靶的制造方法在审
| 申请号： | 201510347491.1 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN106319457A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/12;B22F5/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钨钛管靶的制造方法，其中所述方法包括：提供钨、钛混合粉末和不锈钢空心管；对钨、钛混合粉末和不锈钢空心管进行冷等静压工艺，形成钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料；将所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料装入真空包套并对真空包抽真空后，对所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料进行热等静压工艺；去除真空包套，获得钨钛管靶。通过所述冷等静压工艺，使所述钨、钛混合粉末和不锈钢空心管预成型化，形成半致密性的钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料，并使后续的热等静压工艺可以进行更好的致密；再通过热等静压工艺，向所述真空包套施加各向均等且全方位的气体压力，最终获得高致密度的、组织结构更均匀的半导体用钨钛管靶。 | ||
| 搜索关键词： | 钨钛管靶 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钨钛管靶的制造方法，其特征在于，包括：提供钨、钛混合粉末和不锈钢空心管；对所述钨、钛混合粉末和所述不锈钢空心管进行冷等静压工艺，形成钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料；将所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料装入真空包套并对所述真空包套抽真空后，对所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料进行热等静压工艺，形成钨钛合金；去除所述真空包套，获得以所述钨钛合金为靶材、以所述不锈钢空心管为背管的钨钛管靶。
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