[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物和利用其剥离抗蚀剂的方法

摘要

本发明提供了一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包括40至55重量％的丙酰胺化合物、35至55重量％的伯醇、和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺，由于采用高沸点的伯醇和烷醇胺，其具有对抗蚀剂的高溶解性、生态友好和经济优势，并且取得显著增加的剥离能力和溶解性，因而改善了生产收益；以及一种利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。

主权项

1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包含：40至55重量％的丙酰胺化合物；35至55重量％的伯醇；和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺，其中，所述伯醇是选自包含以下物质的组中的至少一种：四氢糠醇，羟甲基环戊烯，4‑羟甲基‑1,3‑二氧戊环，2‑甲基‑4‑羟甲基‑1,3‑二氧戊环，2,2‑二甲基‑1,3‑二氧戊环‑4‑甲醇，2‑甲氧基乙醇，乙二醇单甲醚，乙二醇单乙醚，乙二醇单异丙醚，乙二醇单丁醚，二乙二醇单甲醚，二乙二醇单乙醚，二乙二醇单异丙醚，二乙二醇单丁醚，三乙二醇单甲醚，三乙二醇单乙醚，三乙二醇单异丙醚，三乙二醇单丁醚，聚乙二醇单甲醚，聚乙二醇单丁醚，异丙醇和糠醇。