[发明专利]一种宽频谱柔性光电探测器及其制作方法在审
| 申请号： | 201510319638.6 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN104993056A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 汤乃云 | 申请（专利权）人： | 上海电力学院 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L51/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 200090 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种宽频谱柔性光电探测器及其制作方法，该探测器自下而上依次包括：柔性衬底层，在柔性衬底层上生长的金属电极层，该金属电极层为栅极，在金属电极层上覆盖生长的介质层，生长或转移覆盖在介质层上的石墨烯层，在石墨烯层的两端设置的第一金属电极和第二金属电极，所述的第一金属电极为源电极，所述的第二金属电极为漏电极。本发明可快速探测到石墨烯中光生载流子引起的源漏电极之间的光电流变化。因为石墨烯禁带宽度为零，且具有高电子迁移率、低电阻率，发明能够实现宽频谱、响应迅速的光电探测。同时因光电探测器采用柔性衬底，故本发明形状可弯曲伸展，形成柔性探测，具有广泛应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽频 柔性 光电 探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种宽频谱柔性光电探测器，其特征在于，该探测器自下而上依次包括：柔性衬底层，在柔性衬底层上生长的金属电极层，该金属电极层为栅极，在金属电极层上覆盖生长的介质层，生长或转移覆盖在介质层上的石墨烯层，在石墨烯层的两端设置的第一金属电极和第二金属电极，所述的第一金属电极为源电极，所述的第二金属电极为漏电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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