[发明专利]具有残余应力层的半导体封装件及其制造方法有效
申请号: | 201510315540.3 | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN105280569B | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 金永培 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/28 | 分类号: | H01L23/28;H01L23/31;H01L21/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘灿强;尹淑梅 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供具有残余应力层的半导体封装件及其制造方法。所述半导体封装件包括下封装件和堆叠在下封装件上的上封装件。下封装件包括封装基底、半导体芯片、模制层和残余应力层。封装基底具有上表面和下表面。半导体芯片设置在封装基底的上表面上。模制层包封半导体芯片。残余应力层设置在半导体芯片上。残余应力层包括塑性形变的表面。残余应力层具有残余应力以抵消下封装件的翘曲。 | ||
搜索关键词: | 具有 残余 应力 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体封装件,所述半导体封装件包括下封装件和堆叠在下封装件上的上封装件,其中,下封装件包括:封装基底,具有上表面和下表面;半导体芯片,设置在封装基底的上表面上;模制层,包封半导体芯片;以及残余应力层,设置在半导体芯片上,其中,残余应力层包括塑性形变的表面,其中,残余应力层具有残余应力以抵消下封装件的翘曲。
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