[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法，能够一边对基板进行加热一边使基板的上表面相对于水平面倾斜，并且，从基板的上方顺利且完全地排除有机溶剂等的处理液的液膜。基板处理装置具有一边对基板进行支撑一边对基板从下方进行加热的基板加热单元和使基板加热单元的姿势在水平姿势和倾斜姿势之间变更的姿势变更单元。在紧接着对基板加热的基板高温化工序执行的有机溶剂排除工序中，通过使基板加热单元的姿势变更为倾斜姿势，来使基板的上表面相对于水平面倾斜。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，具有：处理液供给单元，向基板的上表面供给处理液，以形成该处理液的液膜；基板加热单元，与所述基板的下表面接触来对该基板进行支撑，对所述基板从下方进行加热，以对所述液膜进行加热；姿势变更单元，通过变更对所述基板进行支撑的所述基板加热单元的姿势，一边将所述基板和所述基板加热单元的相对姿势维持为恒定，一边使所述基板以及所述基板加热单元的姿势在水平姿势和倾斜姿势之间变更，所述水平姿势是指，使所述基板的上表面处于水平来在所述基板上保持所述处理液的液膜的姿势，所述倾斜姿势是指，使所述基板的上表面相对于水平面倾斜，来将由所述基板加热单元加热过的所述处理液的液膜从所述基板上排除的姿势；滑落防止构件，在所述基板呈所述倾斜姿势的状态下，与倾斜的基板的周缘部的下部抵接，防止所述基板从所述基板加热单元上滑落。