[发明专利]表面处理装置和表面处理方法有效
申请号: | 201510083766.5 | 申请日: | 2015-02-16 |
公开(公告)号: | CN104852001B | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 池尻孝 | 申请(专利权)人: | 丰田自动车株式会社 |
主分类号: | H01M2/14 | 分类号: | H01M2/14 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 高培培,车文 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种表面处理装置,具备亲水基生成气体供给部(9),向所述处理室内供给所述亲水基生成气体;载置台(1),具备载置板(13)和支承部件(11),所述载置板(13)具有通气部,所述支承部件(11)从所述载置板突出设置,使所述被处理材料与所述载置板之间留有空隙地支承所述被处理材料;以及流动生成部,生成活性化了的所述亲水基生成气体的至少一部分绕入所述空隙的流动,且该流动是经过所述载置板的所述通气部的流动。 | ||
搜索关键词: | 表面 处理 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种表面处理装置,将诱发作为亲水基的生成源的亲水基生成气体的活性化的能量波朝向接受表面处理的被处理材料照射,给被处理材料的接受所述能量波的照射的面赋予亲水性,所述表面处理装置包括:处理室,收容所述被处理材料;亲水基生成气体供给部(9),向所述处理室内供给所述亲水基生成气体;载置台(1),是载置所述被处理材料的载置台,具备载置板(13)和支承部件(11),所述载置板(13)具有通气部,所述支承部件(11)从所述载置板突出设置,使所述被处理材料与所述载置板之间留有空隙地支承所述被处理材料;以及流动生成部,生成活性化了的所述亲水基生成气体的至少一部分经由所述被处理材料的侧方绕入所述空隙的流动而给所述被处理材料的与所述面相反一侧的面赋予亲水性,且该流动是经过所述载置板的所述通气部的流动。
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