[发明专利]极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法

摘要

本发明公开了一种用于EUV辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法，测试系统包括EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C)，真空获得装置包括分别连接到各腔室的真空泵单元和真空计单元、连接于腔室之间的第一、第二插板阀(A3、B3)、连通第一、第二插板阀(A3、B3)的第一、第二气源(A4、B4)，以及通过阀门与收集镜腔室(B)的真空泵单元(B1)相连的气体分析单元(C5)。本发明能够对测试系统的各部分进行抽真空，有效阻止污染物由EUV光源腔室和样品腔室问收集镜腔室扩散，并且在真空压力不匹配的情况下能够测得样品腔室中的气体组分及分压。

主权项

1.一种用于极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置，所述极紫外辐照材料测试系统包括EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C)，其特征在于，所述真空获得装置包括：分别连接到所述EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C)的真空泵单元和真空计单元；连接于所述EUV光源腔室(A)和收集镜腔室(B)之间的第一插板阀(A3)；连接于所述收集镜腔室(B)和样品腔室(C)之间的第二插板阀(B3)；第一气源(A4)和第二气源(B4)，分别连通所述第一插板阀(A3)和第二插板阀(B3)，用于提供EUV辐照的缓冲气体；当EUV光源开始工作时，收集镜腔室(B)中的一个收集镜开始接收并反射EUV辐照，第一插板阀(A3)和第二插板阀(B3)打开，第一气源(A4)向第一插板阀(A3)注入缓冲气体并流入其两端的光源腔室(A)和收集镜腔室(B)，同时第二气源(B4)向第二插板阀(B3)注入缓冲气体并流入其两端的收集镜腔室(B)和样品腔室(C)；所述真空泵单元中至少一个包括分子泵(A11、B11、C11)和机械泵(A12、B12、C12)，分子泵与EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)、样品腔室(C)之间通过插板阀(A13、B13、C13)连接；在EUV光源工作过程中，调节插板阀(A13、C13)以及缓冲气体气瓶(A41、B41)的流导，使缓冲气体始终由收集镜腔室(B)流到EUV光源腔室(A)和样品腔室(C)中。