[发明专利]一种实时测量水压的MEMS器件及其测量方法在审
| 申请号： | 201510051617.0 | 申请日： | 2015-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN104614115A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘海韵 | 申请（专利权）人： | 河海大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于海洋水深快速变化场合的实时测量水压的MEMS器件，包括绝缘衬底、保护硅帽、双端固支谐振器、焊盘和底电极；保护硅帽覆盖在绝缘衬底上端面、与绝缘衬底之间形成容纳双端固支谐振器、焊盘和底电极的封闭型容置内腔；底电极与绝缘衬底上端面相连；双端固支谐振器包括架空横梁、分别连接于架空横梁两端呈对称分布的台阶锚；两个台阶锚底边的下端面均与绝缘衬底上端面相连；焊盘固设在台阶锚底边的上端面。本发明提供的MEMS器件结构简单、操作方便，测量精度高；采用该MEMS器件进行实时测量水压，简单易行、响应速度快，可快速测量出水压，实时反映出水深。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 测量 水压 mems 器件 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种实时测量水压的MEMS器件，其特征在于：包括绝缘衬底、保护硅帽、双端固支谐振器、焊盘和底电极；所述保护硅帽覆盖在绝缘衬底上端面、与绝缘衬底之间形成封闭型的容置内腔；所述双端固支谐振器、焊盘和底电极均容纳于容置内腔中；所述底电极与绝缘衬底上端面相连；所述双端固支谐振器包括架空横梁、分别连接于架空横梁两端呈对称分布的台阶锚；所述台阶锚底边的下端面均与绝缘衬底上端面相连，形成双端固支谐振器架设在底电极正上方并与底电极之间存在间距空隙；所述焊盘固设在台阶锚底边的上端面；所述焊盘和底电极通过连接引线与外界锁相环电路相连。
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