[发明专利]双面带有隔片的密封用片、以及半导体装置的制造方法

摘要

本发明提供一种双面带有隔片的密封用片，其具备密封用片、层叠于密封用片的一个面的隔片A、和层叠于密封用片的另一个面的隔片B，在将密封用片与隔片A之间的剥离力设为F1，将密封用片与隔片B之间的剥离力设为F2，将除去密封用片以外的厚度设为t，将密封用片的面积设为A时，它们满足特定的关系。

主权项

1.一种双面带有隔片的密封用片，其特征在于，具备：密封用片、层叠于所述密封用片的一个面的隔片A、和层叠于所述密封用片的另一个面的隔片B，所述密封用片的厚度为50μm～2000μm，在将所述密封用片与所述隔片A之间的剥离力设为F1，将所述密封用片与所述隔片B之间的剥离力设为F2，将所述密封用片的厚度设为t，将所述密封用片的面积设为A时，满足下述(1)的关系：(1)0＜F2×A×t＜10.0其中，满足F1＜F2，F2的单位为N/20mm，A的单位为m²，t的单位为mm。