[发明专利]用于固化硅锭的衬底在审
| 申请号： | 201480050809.3 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN105705476A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 让-保罗·加朗代;丹尼斯·卡梅尔;贝亚特丽斯·德勒韦;尼古拉斯·于斯塔泽普罗斯;查尔斯·休格特;约翰·特斯塔尔德;拉伊萨·沃伊托维奇 | 申请（专利权）人： | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | C04B41/89 | 分类号： | C04B41/89;C30B11/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;石磊 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底、尤其是用于与液态硅接触的衬底，其特征在于，所述衬底至少部分地表面涂覆有多层涂层，所述多层涂层由被称作附着层的至少一个层以及与所述附着层不同的被称作离型层的层形成，所述附着层与所述衬底接触、具有至少30％的开孔孔隙率且由包括二氧化硅和氮化硅的材料形成，所述材料的二氧化硅含量相对于其总重量按重量计在10％和55％之间；与所述附着层不同的层位于所述附着层的表面且由包括二氧化硅和氮化硅的材料形成，所述材料的二氧化硅含量相对于其总重量按重量计在2％和10％之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 固化 衬底 | ||
【主权项】：
一种衬底、尤其是用于与液态硅接触的衬底，其特征在于，所述衬底至少部分地表面涂覆有多层涂层，所述多层涂层至少由以下形成：‑一个被称作连接层的层，所述连接层与所述衬底接触、具有至少30％的开孔孔隙率且由基于二氧化硅和基于氮化硅的材料形成，所述材料的二氧化硅含量相对于所述材料的总重量按重量计在10％和55％之间，和‑一个与所述连接层不同的被称作离型层的层，所述被称作离型层的层位于所述连接层的表面且由基于二氧化硅和基于氮化硅的材料形成，所述材料的二氧化硅含量相对于所述材料的总重量按重量计在2％和10％之间。
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