[发明专利]承载器

摘要

提供能够在抑制承载器的升温速度和热利用效率降低的同时改善热均匀性的承载器。该承载器(100)包括：板状的第一构件(10)，其具有用于载置晶圆的晶圆载置面；以及第二构件(20)，其用于支撑第一构件(10)并在垂直于晶圆载置面的方向上与第一构件(10)层叠。第一构件(10)的热传导率高于第二构件(20)的热传导率。

主权项

1.一种承载器，其包括用于载置晶圆的晶圆收纳部，该承载器包括：上侧构件，所述上侧构件在其上表面侧包括所述晶圆收纳部、在其下表面侧包括嵌合凹部并且由高纯度的碳化硅制成，所述嵌合凹部从比所述上侧构件的外周部靠内周侧的位置向上凹陷；以及下侧构件，所述下侧构件在其上表面侧包括与所述嵌合凹部的底表面进行面接触的嵌合凸部，从而支撑所述上侧构件，其中当所述上侧构件随着所述嵌合凸部插入所述嵌合凹部而配置于所述下侧构件时，在俯视时，所述下侧构件整体被所述上侧构件覆盖，并且所述外周部不与所述下侧构件接触。