[实用新型]一种冷却背板及磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201420597869.4 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN204529966U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 彭柱根 | 申请（专利权）人： | 海南汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 570125 海南省海口*** | 国省代码： | 海南;66 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种冷却背板，应用于磁控溅射镀膜设备中，所述冷却背板用于将冷却水和靶材相隔离，所述冷却背板与冷却水接触的表面上设置有多个凸起结构。由于所述冷却背板与所述冷却水接触的一面设置有多个凸起结构，从而导致所述冷却背板与冷却水的接触面积增大，导致所述冷却水与所述冷却背板3之间的热交互效果显著增强，使得所述靶材的温度显著降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 背板 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种冷却背板，应用于磁控溅射镀膜设备中，用于将冷却水和靶材相隔离，其特征在于：所述冷却背板与冷却水接触的表面上设置有多个凸起结构。
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