[实用新型]一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器

摘要

本实用新型公开了一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、位于炉体上方的发热丝；所述炉体包括圆盘和位于圆盘周围的圆环，所述圆环至少包括一个由扇形环组合而成的组合圆环；所述发热丝相应包括位于圆盘上方的圆盘发热丝和位于扇形环上方的扇形环发热丝。本实用新型由于炉体圆环采用扇形环组合而成，可有效减少炉体高温热膨胀效应，可以有效解决大尺寸加热器容易损坏的现状；扇形环上方的扇形环发热丝采用同心螺旋扇形绕法和同心圆弧绕法，可以很好的保证整体温度的均匀性。

主权项

一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、位于炉体上方的发热丝；所述炉体包括圆盘和位于圆盘周围的圆环，其特征是所述圆环至少包括一个由扇形环组合而成的组合圆环；所述发热丝相应包括位于圆盘上方的圆盘发热丝和位于扇形环上方的扇形环发热丝。