[实用新型]一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器

权利要求书

1.一种可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，包括炉体、位于炉体上方的发热丝；所述炉体包括圆盘和位于圆盘周围的圆环，其特征是所述圆环至少包括一个由扇形环组合而成的组合圆环；所述发热丝相应包括位于圆盘上方的圆盘发热丝和位于扇形环上方的扇形环发热丝。

2.根据权利要求1所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述组合圆环包括两个或两个以上不同径向宽度的内外组合圆环。

3.根据权利要求2所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述圆盘发热丝采用同心螺旋绕法，内组合圆环的扇形环上方的扇形环发热丝采用同心螺旋扇形绕法，外组合圆环的扇形环上方的扇形环发热丝采用同心圆弧绕法。

4.根据权利要求3所述的可用于金属有机化学气相沉积设备的高功率加热器，其特征是所述圆环还包括设在所述圆盘和内组合圆环之间的整体圆环，所述发热丝相应包括设在整体圆环上方的整体圆环发热丝，所述整体圆环发热丝采用同心螺旋绕法。