[实用新型]一种可变衰减器装置有效
| 申请号： | 201420235738.1 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN203825292U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种可变衰减器装置，所述可变衰减器装置至少包括：第一平板玻璃和第二平板玻璃；所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“＜”或“＞”形状，所述第一平板玻璃与水平面的夹角等于所述第二平板玻璃与水平面的夹角。本实用新型可变衰减器装置，由在入射光的光路上设置的第一平板玻璃和第二平板玻璃构成，可以降低入射光强度，同时透射光的强度不会发生侧向偏离，满足曝光工艺的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 衰减器 装置 | ||
【主权项】：
一种可变衰减器装置，该装置设置于入射光的光路上，其特征在于，所述装置至少包括：第一平板玻璃和第二平板玻璃；所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“＜”或“＞”形状，所述第一平板玻璃与水平面的夹角等于所述第二平板玻璃与水平面的夹角。
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