[实用新型]一种可变衰减器装置有效
| 申请号： | 201420235738.1 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN203825292U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可变 衰减器 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种可变衰减器装置，该装置设置于入射光的光路上，其特征在于，所述装置至少包括：第一平板玻璃和第二平板玻璃；所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“＜”或“＞”形状，所述第一平板玻璃与水平面的夹角等于所述第二平板玻璃与水平面的夹角。
2.根据权利要求1所述的可变衰减器装置，其特征在于：所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的正、反表面上均涂有提高其反射率的薄膜材料。
3.根据权利要求1所述的可变衰减器装置，其特征在于：所述第一平板玻璃与水平面的夹角范围为40～50°；所述第二平板玻璃与水平面的夹角范围为40～50°。
4.根据权利要求3所述的可变衰减器装置，其特征在于：所述第一平板玻璃与水平面的夹角范围为45°；所述第二平板玻璃与水平面的夹角范围为45°。
5.根据权利要求1所述的可变衰减器装置，其特征在于：所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的厚度范围均为1～10mm。
6.根据权利要求4～5中任一项所述的可变衰减器装置，其特征在于：入射光经过所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的透光率范围为0.05～0.95。
7.根据权利要求1所述的可变衰减器装置，其特征在于：所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的形状均为方形。
8.根据权利要求1所述的可变衰减器装置，其特征在于：所述入射光波长为193nm。
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