[实用新型]真空涂覆设备的捕水机构有效
| 申请号： | 201420020266.8 | 申请日： | 2014-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN203668509U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘双良;雷志钵 | 申请（专利权）人： | 东莞市华星纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 高之波;邬玥 |
| 地址： | 523570 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空涂覆设备的捕水机构，包括固定在真空仓体上的冷阱仓体、设于冷阱仓体内部的制冷盘管和与冷阱仓体相连的调整机构，其中冷阱仓体包括本体和与本体相匹配的盖体，该盖体位于真空仓体的内部，盖体与调整机构相连。本实用新型真空涂覆设备的捕水机构具有工作效率高和产能消耗低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 设备 机构 | ||
【主权项】：
真空涂覆设备的捕水机构，其特征在于，包括固定在真空仓体（1）上的冷阱仓体（2）、设于冷阱仓体（2）内部的制冷盘管（3）和与冷阱仓体（2）相连的调整机构（4），所述冷阱仓体（2）包括本体（21）和与本体（21）相匹配的盖体（22），所述盖体（22）位于真空仓体（1）的内部，所述盖体（22）与调整机构（4）相连。
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