[实用新型]真空涂覆设备的捕水机构有效

专利信息
申请号: 201420020266.8 申请日: 2014-01-13
公开(公告)号: CN203668509U 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 刘双良;雷志钵 申请(专利权)人: 东莞市华星纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/54;C23C16/54
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 高之波;邬玥
地址: 523570 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空 设备 机构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及到一种捕水机构,特别涉及到一种真空涂覆设备的捕水机构。

背景技术

真空涂覆设备广泛的运用于精密器件的镀膜操作中,其一般包括一个真空仓体,以满足真空镀膜的需要。为了使得真空仓体围成的腔体具有较高的真空度,现有的真空涂覆设备的真空仓体中设有捕水机构,该捕水机构的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间、真空腔内或卷绕镀膜上下室内等部位,该制冷盘管与真空室总是处于连通的状态,当真空涂覆设备需要开门取出成品时,往往需要通过加热除霜装置对制冷盘管进行加热,使其在每次开门之前恢复到常温,以避免制冷盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。由于每次开门之前都需要有加热除霜装置对制冷盘管进行加热,因此这种真空涂覆设备的捕水机构具有工作效率低和产能消耗高的缺点。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种工作效率高和产能消耗低的真空涂覆设备的捕水机构。

根据本实用新型的一个方面,提供了一种真空涂覆设备的捕水机构,包括固定在真空仓体上的冷阱仓体、设于冷阱仓体内部的制冷盘管和与冷阱仓体相连的调整机构,其中冷阱仓体包括本体和与本体相匹配的盖体,该盖体位于真空仓体的内部,盖体与调整机构相连。

本实用新型真空涂覆设备的捕水机构的有益效果是:由于在冷阱仓体的本体和盖体围成的腔室中设有制冷盘管,且该盖体与调整机构相连,即可以实现当真空涂覆设备的真空仓体关门抽真空时,调整机构控制盖体与本体分离,此时冷阱仓体的腔室与真空仓体的腔室相连通,制冷盘管超低温表面能够有效地夺取腔室中水蒸气,从而实现真空仓体的真空腔室被快速抽真空;当真空涂覆设备的真空仓体需要开门取出成品时,调整机构控制盖体与本体气密封配合,此时冷阱仓体的腔室与真空仓体的腔室断开连通,因此可以直接打开真空仓体的仓门,而不需要每次开门前都需要有加热除霜装置对制冷盘管进行加热。综上所述,本实用新型真空涂覆设备的捕水机构具有工作效率高和产能消耗低的优点。

在一些实施方式中,制冷盘管可以为螺旋状,其一端为冷媒的流入端,另一端为冷媒的流出端,该流入端和流出端均由冷阱仓体的内部向外部延伸出。由于制冷盘管为紧密排列的螺旋状,即其表面积大,因此其具有捕集水蒸气速度快、效率高和占有体积小的优点。

在一些实施方式中,调整机构可以设于冷阱仓体内部,该调整机构包括气缸、设于气缸内部的柱塞和一端与柱塞相连的连杆,该连杆的另一端与盖体相连,该气缸固定在本体上。由于通过连杆连接柱塞和盖体,通过控制气缸的通气情况就可实现柱塞带动盖体实现盖体的打开和闭合,因此本实用新型真空涂覆设备的捕水机构具有结构简单和控制方便的优点。

在一些实施方式中,柱塞与连杆相连的一侧可以设有弹簧,另一侧与气缸围成气腔,该弹簧与连杆套接,该弹簧的一端与柱塞相连,另一端与气缸的内壁相连。由于柱塞与连杆相连的一侧可以设有弹簧,另一侧与气缸围成气腔,当向气腔中通入高压空气时,弹簧被压缩,冷阱仓体的盖体被打开;当停止向气腔中通入高压空气时,在弹簧的回复力的作用下,冷阱仓体的盖体闭合。因此本实用新型真空涂覆设备的捕水机构具有结构简单和控制方便的优点。

在一些实施方之中,还可以包括进气管,该进气管与气腔相连通。通过进气管的连通,可以为气腔提供所需的气压,从而实现冷阱仓体的盖体的打开和闭合。

在一些实施方之中,柱塞和连杆相连的一侧与气缸围成第一气腔,另一侧与气缸围成第二气腔。由于柱塞的两侧分别形成第一气腔和第二气腔,通过控制第一气腔和第二气腔的通气情况就可以实现冷阱仓体的盖体的打开和闭合,因此本实用新型真空涂覆设备的捕水机构具有结构简单和控制方便的优点。

在一些实施方式中,还可以包括第一进气管和第二进气管,其中第一进气管与第一气腔相连通,该第二进气管与第二气腔相连通。由于相应进气管和气腔的相连通,通过进气管可以为相应的气腔提供所需的气压,从而实现冷阱仓体的盖体的打开和闭合。

在一些实施方式中,还可以包括抽真空管,该抽真空管与冷阱仓体的内腔相连通。由于设有与冷阱仓体的内腔相连通的抽真空管,且该抽真空管的另一端与真空泵相连,即在正常工作中,其能够为冷阱仓体和真空仓体的腔室中的气流提供牵引力,同时通过该抽真空管可以及时排除除霜操作得到的水汽,因此本实用新型具有实用性强的优点。

在一些实施方式中,盖体的周围可以设有密封圈。通过在盖体的周围设有密封圈,可以保证在盖体闭合的情况下,其能够与冷阱仓体的本体更好的气密封配合,因此本实用新型真空涂覆设备的捕水机构具有实用性强的优点。

附图说明

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