[实用新型]超声波振动辅助研磨/抛光的超精密加工系统有效
| 申请号： | 201420004200.X | 申请日： | 2014-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN203636513U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;韩磊;金明骏;高景;闫纪旺;佟达;李烁;鲁帅;杨倚寒;邵明坤 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超声波振动辅助研磨/抛光的超精密加工系统，属于精密、超精密加工领域。xyz三轴运动工作台用来调整超声波振动发生器与工件夹持单元间的相对位置；超声波振动发生器将确定频率的交流电信号转换成相应频率的振动微位移；传感器检测单元用于监控加工过程；摇臂机构用来保证工件夹持单元在研磨/抛光加工过程中始终处于确定位置。本实用新型可用于硬脆材料的超精密平坦化加工，具有结构紧凑、操作简单、效率高、适用性强等优点。本实用新型能够通过改善研磨/抛光条件（降低研磨/抛光力、减少切削热、消除或抑制振动等）显著地提高工件的加工精度和表面质量，降低试件加工表面损伤，改进精密与超精密研磨/抛光加工工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 振动 辅助 研磨 抛光 精密 加工 系统 | ||
【主权项】：
一种超声波振动辅助研磨/抛光的超精密加工系统，其特征在于：包括xyz三轴运动工作台、超声波振动发生器、传感器检测单元、工件夹持单元以及摇臂（7），所述xyz三轴运动工作台调节超声波振动发生器相对于工件夹持单元的位置；超声波振动发生器将确定频率的交流电信号转换成相应频率的振动微位移，从而能够根据超声频率的交流电信号产生超声波频率的振动；摇臂保证修正环在加工过程中始终处于确定位置并通过旋转改善工件加工环境；传感器检测单元检测并控制加工过程。
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