[发明专利]一种多工件台协作直写光刻方法在审
| 申请号： | 201410539501.7 | 申请日： | 2014-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN104375389A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 曹旸;李阳 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 刘新合 |
| 地址： | 221399 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多工件台协作直写光刻方法，采用并行曝光控制技术，属于直写式光刻机曝光技术领域。首先对A工件台进行上板、对准操作，后将A工件台移动至曝光起始位置进行扫描曝光；同时对B工件台进行上板、对准操作，后将B工件台移动至曝光起始位置，等待扫描曝光；A工件台完成扫描曝光后，退出A工件台，并对A工件台进行下板、上新板、对准的扫描曝光准备工作，同时开始对B工件台进行扫描曝光流程。本发明大幅降低了结构的复杂性，多个工件台在各自的工作区域内互不干扰，使原本按顺序串行进行的曝光流程变为并行的曝光流程，极大地缩短了曝光时间。此外本发明提高了曝光品质及生产良率，在保证光刻精度的同时，不会增加任何耗时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 协作 光刻 方法 | ||
【主权项】：
一种多工件台协作直写光刻方法，其特征在于，具体步骤如下：1)、首先对A工件台进行上板、对准操作，完成后将A工件台移动至曝光起始位置进行扫描曝光；2)、在A工件台进行扫描曝光的同时，对B工件台进行上板、对准操作；3)、B工件台进行上板、对准操作完成后，将B工件台移动至曝光起始位置，等待扫描曝光；4)、A工件台完成扫描曝光后，退出A工件台，并对A工件台进行下板、上新板、对准的扫描曝光准备工作，同时开始对B工件台进行扫描曝光流程；5)、上述步骤循环往复进行，形成整机操作的上下板、对准与扫描曝光流程的同步进行。
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