[发明专利]一种可自转公转的仿行星式镀膜治具及其使用方法无效

专利信息
申请号: 201410488795.5 申请日: 2014-09-23
公开(公告)号: CN104294234A 公开(公告)日: 2015-01-21
发明(设计)人: 刘双良 申请(专利权)人: 东莞市华星镀膜科技有限公司;东莞市华星纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种大型镀膜机腔内蒸发镀膜的镀膜治具,尤指一种应用在大型镀膜机腔中实现产品均匀镀膜效果的一种可自转公转的仿行星式镀膜治具及其使用方法,一种可自转公转的仿行星式镀膜治具,所述的镀膜治具安装在镀膜机腔内部上方,所述的镀膜治具主要包括治具本体、公转系统和自转系统,所述的治具本体包括三个治具盘,治具盘为伞形,伞形治具盘中部的尖端处设置有连接柱;本发明利用行星运动的原理,根据行星自转和公转的运动规律使治具盘在镀膜机腔内实现独立自转并整体公转的效果,达到镀膜时产品表面的保护膜层均匀沉积的目的,且不仅镀膜产品的主体部分可均匀镀膜,镀膜产品的边缘及棱角亦可达到最佳的镀膜效果,实现整体镀膜的均匀性。
搜索关键词: 一种 自转 公转 行星 镀膜 及其 使用方法
【主权项】:
一种可自转公转的仿行星式镀膜治具,所述的镀膜治具安装在镀膜机腔内部上方,其特征在于:所述的镀膜治具主要包括治具本体、公转系统和自转系统,所述的治具本体包括三个治具盘,治具盘为伞形,伞形治具盘中部的尖端处设置有连接柱;所述的公转系统主要包括连接座、公转支架、公转中轴和公转导轨,连接座安装在镀膜机腔的外顶面,公转中轴穿过镀膜机腔顶面贯通的通孔分别与连接座、公转支架轴向安装,并使公转支架安装在镀膜机腔内顶面;连接座内部安装有回转驱动装置,可驱动公转中轴绕中心轴水平旋转;公转支架的主支架为类轮毂的镂空圆盘状,且在中轴处开设有中轴孔,公转支架的分支架连接在主支架边缘,公转支架包括三个分支架,三个分支架均为一端连接主支架边缘处,另一端从主支架边缘处向下倾斜延展,三个分支架以主支架为基面呈圆周阵列分布,分支架与主支架边缘的凸出端为固定装配,且分支架末端开设有通孔;公转中轴下端轴套安装在与之匹配的主支架所开设的中轴孔内,公转中轴上端与连接座内部的回转驱动装置电性连接,当回转驱动装置驱动公转中轴旋转时可带动公转支架旋转;公转导轨为环绕在自转系统外的圆形轨道,公转导轨处于公转系统的底端,由三根“L”形支撑柱一端连接公转导轨下表面,另一端安装在镀膜机腔内顶面使公转导轨固定在镀膜机腔内; 所述的自转系统主要包括三个自转导轮,自转导轮上半部分为凸起的连接块,下半部分为滑轮,自转导轮的滑动轮廓与公转导轨的轮廓相匹配,自转导轮通过连接块与公转支架分支架的连接使其与公转系统相连接,连接块的形状为两端凸起中间下凹的阶梯轴状,连接块的中间轴段套设在公转支架的分支架通孔中,且自转导轮的中轴处开设有贯穿连接块与滑轮的中轴孔,所述治具盘的连接柱套装在自转导轮的中轴孔内,与自转导轮和公转支架分支架轴向配合安装,治具盘安装在公转支架的内侧,自转导轮绕中心轴旋转时带动治具盘绕中心轴旋转。
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