[发明专利]具有氧化钇覆层的部件的清洗液及清洗方法在审
| 申请号： | 201410479949.4 | 申请日： | 2014-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104312774A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 高建 | 申请（专利权）人： | 高建 |
| 主分类号： | C11D7/08 | 分类号： | C11D7/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京格旭知识产权代理事务所(普通合伙) 11443 | 代理人： | 雒纯丹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了具有氧化钇覆层的部件的清洗液，该清洗液在用于清洗具有氧化钇覆层的部件的用途及使用该清洗液的清洗方法。清洗液是由质量浓度小于等于10％且大于0％的硝酸溶液和质量浓度小于5％的氢氟酸溶液组成的。采用本发明的清洗液和清洗方法，可以克服物理清洗和超声清洗的缺陷，还能够避免因选择清洗液不当所带来的对氧化钇覆层的腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 氧化钇 覆层 部件 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种用于清洗具有氧化钇覆层的部件的清洗液，其含有质量浓度小于等于10％且大于0％的硝酸溶液和质量浓度小于5％的氢氟酸溶液。
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