[发明专利]一种发光器件及其制造方法在审
申请号: | 201410449026.4 | 申请日: | 2014-09-05 |
公开(公告)号: | CN104201259A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 徐正毅;郭德博 | 申请(专利权)人: | 北京中科天顺信息技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/00 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 102206 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种发光器件的制造方法以及由这种方法制备的发光器件,包括如下步骤:选择衬底,在从所述衬底切割后至形成量子阱有源层之前的任何阶段,在对应发光器件的非发光区域的位置人为形成位错源;然后再外延构成发光器件的其他半导体材料外延层;所述位错源在非发光区域造成位错集中区,释放其他半导体材料外延层中的应力,使得发光区域的位错密度降低。通过在发光器件的非发光区域人为的引入位错,释放发光器件外延层中应力,从而降低发光区域中的位错密度,提高发光器件芯片的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 发光 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光器件的制造方法,其包括以下步骤:选择衬底;在衬底上对应发光器件的非发光区域的位置人为形成位错源;在具有位错源的衬底上方外延N型半导体材料、有源区和P型半导体材料,所述半导体材料与衬底之间存在晶格失配;所述位错源在非发光区域造成位错集中区,释放外延的N型半导体材料、有源区和P型半导体材料中的应力,使得发光区域的位错密度降低。
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