[发明专利]蒸发源装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201410411642.0 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104213080A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张家奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源装置和蒸镀设备，包括壳体和设置在该壳体内的坩埚，所述蒸发源装置还包括升降机构，用于带动所述坩埚沿所述壳体的高度方向升降，所述升降机构能够带动所述坩埚上升至高于所述壳体开口的位置。在本发明中，所述升降机构可以带动所述坩埚升高至壳体开口上方，从而便于所述坩埚的取放。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸发源装置，包括壳体和设置在该壳体内的坩埚，其特征在于，所述蒸发源装置还包括升降机构，用于带动所述坩埚沿所述壳体的高度方向升降，所述升降机构能够带动所述坩埚上升至高于所述壳体开口的位置。
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