[发明专利]厚度测量装置与厚度测量方法

摘要

本发明涉及厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量装置包括：变波长激光器，其用于将第一波长的激光束和第二波长的激光束顺序地照入射到透明基板的第一位置；光学检测器，其用于检测从所述透明基板透射的透射光束；以及处理单元，其用于在利用所述第一波长的第一透射光束的强度和所述第二波长的第二透射光束的强度的李萨如曲线上提取旋转角度，或者用于提取由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的相邻光线之间的光程差或由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的所述相邻光线之间的相位差。

主权项

1.一种厚度测量装置，其包括：变波长激光器，其用于将第一波长的激光束和第二波长的激光束顺序地照入射到透明基板的第一位置；光学检测器，其用于检测从所述透明基板透射的透射光束；以及处理单元，其用于利用所述第一波长的第一透射光束的强度和所述第二波长的第二透射光束的强度提取李萨如曲线上的旋转角度，或者用于提取由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的相邻光线之间的光程差或由所述透明基板在所述第一位置处的内部反射引起的所述相邻光线之间的相位差，其中，所述第一波长的所述第一透射光束的强度具有所述相位差的余弦函数，并且所述第二波长的所述第二透射光束的强度具有所述相位差的正弦函数，其中，所述第一波长和所述第二波长满足在透射光束的相位项处改变π/2的条件；其中，所述处理单元包括：AD转换器，其将所述第一波长的所述第一透射光束和所述第二波长的所述第二透射光束转换成第一数字测量信号和第二数字测量信号；非线性校正单元，其利用所转换的具有参数的所述第一数字测量信号和所述第二数字测量信号来执行非线性校正；相位计算器，其通过利用所非线性校正的信号来计算与所述李萨如曲线上的所述旋转角度相对应的相位差；检查点确认单元，其确认在每次相位计算期间计算的所述相位差是否为π/4的整数倍；以及参数更新单元，其当所述相位差是π/4的整数倍时，更新所述参数。