[发明专利]衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法

摘要

本发明提供了衬底分离检查方法、衬底分离设备以及柔性显示器制造方法。根据本发明的另一方面提供的衬底分离设备包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元将激光照射至衬底组件，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。

主权项

1.一种衬底分离检查方法，包括：制备衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底；施加用于使所述第一衬底与所述第二衬底分离的激光至所述衬底组件；获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态，其中，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态的步骤包括：将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的颜色信息。