[发明专利]包含氨基甲酸酯组分的光刻胶有效
| 申请号： | 201410242646.0 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN104216224B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | W·威廉姆斯三世;刘骢;徐承柏 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 江磊 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了新的光刻胶组合物，该组合物包含氨基甲酸酯化合物，所述氨基甲酸酯化合物包含1)氨基甲酸酯基团和2)酯基团。本发明优选的光刻胶可以包含：具有对酸不稳定的基团的树脂；酸生成剂化合物；以及氨基甲酸酯化合物，该化合物可以用来减少光致生成的酸扩散到光刻胶涂层的未曝光区域以外的不利现象。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 氨基甲酸酯 组分 光刻 | ||
【主权项】：
一种光刻胶组合物，其包含：(a)树脂；(b)酸生成剂；和(c)氨基甲酸酯化合物，其包含i)氨基甲酸酯基团和ii)酯基团。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料有限公司，未经罗门哈斯电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410242646.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：LCD印刷用柔性树脂版及其制备方法
- 下一篇：投影用透镜和投影型显示装置
